Статьи за последние 2 года |
 МОДЕЛИРОВАНИЕ ТРАНСПОРТА РАСПЫЛЕННОГО МАТЕРИАЛА В ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ НА БАЗЕ РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ СМЕЩЕНИЕМ МИШЕНИ / Крат С. А., Сорокин И. А., Бутняков Д. А. // 9 Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" (ЛаПлаз-2023), Москва, 28-31 марта, 2023: Сборник научных трудов.— 2023.— C. 179-180.— русский |
|
|
| Постоянная ссылка (СИД2) |
B212409091402 |
| Название |
МОДЕЛИРОВАНИЕ ТРАНСПОРТА РАСПЫЛЕННОГО МАТЕРИАЛА В ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ НА БАЗЕ РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ СМЕЩЕНИЕМ МИШЕНИ |
| Автор |
Крат С. А. |
| Автор |
Сорокин И. А. |
| Автор |
Бутняков Д. А. |
| Источник |
9 Международная конференция "Лазерные, плазменные исследования и технологии" (ЛаПлаз-2023), Москва, 28-31 марта, 2023: Сборник научных трудов |
| Страницы/Объём |
179-180 |
| Год |
2023 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
B21240909 |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
24.04.2023 |
| Место хранения |
Удаленный доступ (ИКТ) |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Построена компьютерная модель экспериментальной установки с новым типом распылительной системы на основе разряда с полым катодом с плоскими электродами и дополнительным смещением мишени, учитывающая диффузионные и конвективные потоки и рассчитывающая скорость осаждения на подложку распыляемого материала. |
| Адрес полного текста |
|
|