| Постоянная ссылка (СИД2) |
J2130281X53 |
| Название |
СИСТЕМА ТРЕБОВАНИЙ К ФОТОШАБЛОНАМ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПРИМЕНЯЕМЫМ В ПРОИЗВОДСТВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ СОВРЕМЕННЫХ ПРОЕКТНЫХ НОРМ |
| Автор |
Балан Н. Н. |
| Автор |
Жаворонкин Ю. Г. |
| Автор |
Иванов В. В. |
| Автор |
Панкратов А. Л. |
| Автор |
Харченко Е. Л. |
| Источник |
Наноиндустрия |
| Страницы/Объём |
122-131 |
| Сокращ. назв. источника |
Наноиндустрия |
| Год |
2023 |
| Том |
16 |
| Адрес в Интернет |
http://elibrary.ru/item.asp?id=53742277 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J2130281X |
| Ключевые слова (авторские) |
бюджет широты экспозиции|критические линейные размеры|проекционная фотолитография|спецификация|точность |
| Место хранения |
Удаленный доступ. Эл. регистр. НЭБ |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
22.05.2023 |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Оборудования и технологических требований к литографическим операциям |
| Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |