Патенты
   
Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок / Латышев Ю. И., Быков В. А., Фролов А. В., Орлов А. П. / Нанотехнология МДТ. — Пат № 2494037 Российская Федерация, МПК B82B 3/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01). — № 2012117015/07; Заявл. 27.04.2012; Опубл. 27.09.2013 — русский
 
Автор: 
 - Персоналии ( 4 )
Постоянная ссылка (СИД) P01946437
Название Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок
Автор Латышев Ю. И.
Автор Быков В. А.
Автор Фролов А. В.
Автор Орлов А. П.
Заявитель/ патентообладатель Нанотехнология МДТ
Номер патентного документа 2494037
Год 2013
Регистрационный номер заявки 2012117015/07
Дата публикации патентного документа 27.09.2013
Шифр МПК B82B 3/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Страна Российская Федерация
Язык текста русский
Дата подачи заявки на изобретение 27.04.2012
Обозн. материала носителя текст в печатном издании
Дата регистрации в ВИНИТИ 30.07.2014
Канал поступления Патенты из ЦСБД (ПИК)
Место хранения Патенты из ЦСБД (ПИК)
Тематический раздел Химия
Издательский номер в РЖ 14.08-19ГД.537
Шифр ГРНТИ 31.05
Ключевые слова монокристаллы, пленки, атомно-тонкие, получение, свойства