Постоянная ссылка (СИД) |
P01946437 |
Название |
Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок |
Автор |
Латышев Ю. И. |
Автор |
Быков В. А. |
Автор |
Фролов А. В. |
Автор |
Орлов А. П. |
Заявитель/ патентообладатель |
Нанотехнология МДТ |
Номер патентного документа |
2494037 |
Год |
2013 |
Регистрационный номер заявки |
2012117015/07 |
Дата публикации патентного документа |
27.09.2013 |
Шифр МПК |
B82B 3/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01) |
Страна |
Российская Федерация |
Язык текста |
русский |
Дата подачи заявки на изобретение |
27.04.2012 |
Обозн. материала носителя |
текст в печатном издании |
Дата регистрации в ВИНИТИ |
30.07.2014 |
Канал поступления |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
Место хранения |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
Тематический раздел |
Химия |
Издательский номер в РЖ |
14.08-19ГД.537 |
Шифр ГРНТИ |
31.05 |
Ключевые слова |
монокристаллы, пленки, атомно-тонкие, получение, свойства |