Постоянная ссылка (СИД) |
T12909357 |
Название |
Датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы балочного типа |
Автор |
Васильев В. А. |
Автор |
Кондратьев А. В. |
Заявитель/ патентообладатель |
ПГУ |
Номер патентного документа |
2520943 |
Год |
2014 |
Регистрационный номер заявки |
2012144878/28 |
Дата публикации патентного документа |
27.06.2014 |
Шифр МПК |
G01L 9/00 (2006.01), B82B 1/00 (2006.01) |
Страна |
Российская Федерация |
Язык текста |
русский |
Дата подачи заявки на изобретение |
22.10.2012 |
Обозн. материала носителя |
электронное издание online |
Дата регистрации в ВИНИТИ |
25.09.2014 |
Канал поступления |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
Место хранения |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
Адрес полного текста |
|
Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |
Тематический раздел |
Физика |
Тематический раздел |
Химия |
Издательский номер в РЖ |
16.10-18А.122 |
Издательский номер в РЖ |
16.08-19И.214 |
Издательский номер в РЖ |
16.05-32.170 |
Шифр ГРНТИ |
29.03.25 |
Шифр ГРНТИ |
29.03.29 |
Шифр ГРНТИ |
61.01.81 |
Шифр ГРНТИ |
90.27.30 |
Ключевые слова |
датчики давления, Ни МЭМС, гетерогенные структуры |
Ключевые слова |
датчики; давление измерение; Ни МЭМС; мембраны; тензорезисторы |