| Постоянная ссылка (СИД2) |
B20888441108X |
| Название |
Высокоскоростной синтез тонких пленок LiPON термическим испарением Li3PO4 в азотной плазме |
| Автор |
Каменецких А. С. |
| Автор |
Гаврилов Н. В. |
| Автор |
Третников П. В. |
| Автор |
Жидков И. С. |
| Автор |
Морозов И. А. |
| Автор |
Ершов А. А. |
| Источник |
Proceedings of 8 International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2022), Tomsk, Oct. 2-8, 2022 |
| Страницы/Объём |
992-999 |
| Год |
2022 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
B20888441 |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
06.12.2022 |
| Место хранения |
Удаленный доступ (ИКТ) |
| Язык текста |
русский |
| Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |
| Тематический раздел |
Химия |
| Издательский номер в РЖ |
23.07-23Г.100 |
| Издательский номер в РЖ |
23.09-19Л.22 |
| Шифр ГРНТИ |
47.09.99 |
| Шифр ГРНТИ |
61.31.51 |
| Ключевые слова |
ионные электролиты, LiPON, литий-проводящие электролиты, тонкие пленки, ортофосфат лития, анодное испарение, катодная дуговая плазма, разложение паров в плазме |
| Ключевые слова |
пленки; электролиты, синтез LiPON; литий, фосфаты, Li3PO4; испарение, в азотной плазме; электропроводность ионная; аккумуляторы электрические, твердотельные линий-ионные микробатареи |
|