| Постоянная ссылка (СИД2) |
B2088844188X |
| Название - перевод на рус. язык |
Моделирование реактивного распыления и испарения в магнетронном разряде с накаленной мишенью |
| Название |
Modeling of reactive sputtering and evaporation in a hot-target magnetron discharge |
| Автор |
Kolodko D. V. |
| Автор |
Sorokin S. M. |
| Автор |
Kaziev A. V. |
| Источник |
Proceedings of 8 International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2022), Tomsk, Oct. 2-8, 2022 |
| Страницы/Объём |
816-819 |
| Год |
2022 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
B20888441 |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
06.12.2022 |
| Место хранения |
Удаленный доступ (ИКТ) |
| Язык текста |
английский |
| Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |
| Издательский номер в РЖ |
23.08-23АБ.6 |
| Шифр ГРНТИ |
47.03.03 |
| Ключевые слова |
газовые разряды, магнетронные разряды, накаленные мишени, реактивное магнетронное распыление, испарение материала мишени, отравление мишени |