| Постоянная ссылка (СИД2) |
J2093460X237 |
| Название |
Преимущественное распыление при облучении сплавов газовыми кластерными ионами |
| Автор |
Черныш В. С. |
| Автор |
Иешкин А. Е. |
| Автор |
Киреев Д. С. |
| Автор |
Миннебаев Д. К. |
| Автор |
Скрылева Е. А. |
| Автор |
Сенатулин Б. Р. |
| Источник |
Журнал технической физики |
| Страницы/Объём |
1943-1950 |
| Сокращ. назв. источника |
Ж. техн. физ. |
| Год |
2022 |
| Том |
92 |
| Номер |
12 |
| Адрес в Интернет |
http://elibrary.ru/item.asp?id=49959379 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J2093460X |
| Ключевые слова (авторские) |
газовые кластерные ионы%ионное распыление%преимущественное распыление%рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия%топография |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
25.12.2022 |
| Место хранения |
Удаленный доступ. Эл. регистр. НЭБ |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Исследованы топография и состав поверхности сплавов на основе никеля при облучении кластерными ионами Ar2500+ с энергией 20 keV и атомарными ионами Ar+ с энергией 3 keV. Экспериментально обнаружено обеднение поверхности сплавов компонентом с меньшей энергией связи. Показано, что изменение поверхностных концентраций компонентов сплавов при облучении кластерными ионами на порядок больше, чем при распылении атомарными ионами. Степень изменения состава поверхности определена соотношением коэффициентов распыления компонентов сплава |
| Тематический раздел |
Химия |
| Издательский номер в РЖ |
23.09-19Б1.343 |
| Шифр ГРНТИ |
31.15.15 |
| Ключевые слова |
никель сплавы, поверхности; кластеры, ионами Ar2500+; ионы, газовые; распыление, преимущественное; топография, исследование; спектроскопия фотоэлектронная, рентгеновская |