Статьи за последние 2 года |
| Поток энергии на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN / Гренадёров А. С., Захаров А. Н., Оскирко В. О., Сиделев Д. В., Соловьев А. А. // Proceedings of 8 International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2022), Tomsk, Oct. 2-8, 2022.— 2022.— C. 1047-1052.— русский |
|
|
| Постоянная ссылка (СИД2) |
B208884411144 |
| Название |
Поток энергии на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN |
| Автор |
Гренадёров А. С. |
| Автор |
Захаров А. Н. |
| Автор |
Оскирко В. О. |
| Автор |
Сиделев Д. В. |
| Автор |
Соловьев А. А. |
| Источник |
Proceedings of 8 International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2022), Tomsk, Oct. 2-8, 2022 |
| Страницы/Объём |
1047-1052 |
| Год |
2022 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
B20888441 |
| Место хранения |
Удаленный доступ (ИКТ) |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
06.12.2022 |
| Язык текста |
русский |
| Тематический раздел |
Металлургия |
| Издательский номер в РЖ |
24.04-15Е.258 |
| Шифр ГРНТИ |
81.35.33 |
| Ключевые слова |
магнетронное распыление, дуальная распылительная система, параметры процесса, покрытия, структура, свойства |
|