| Постоянная ссылка (СИД) |
S001659 |
| Название |
Активируемые процессы технологии микроэлектроники: Сб. науч. тр. |
| Коллективный автор |
Московский государственный институт электронной техники (технический университет) |
| Указание о редакторах |
ред. |
| Редактор |
Сорокин И. Н. |
| Год |
1994 |
| Страницы/Объём |
210 с. |
| Язык текста |
русский |
| Страна |
Российская Федерация |
| ISBN |
5-7256-0026-2 |
| Язык описания |
русский |
| Обозн. материала носителя |
текст в печатном издании |
| Канал поступления |
Рос. книжная палата (бесплатно) |
| Место хранения |
ЦНИО |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
20.01.1995 |
| Вид издания |
И.ИКТ.ОТ.НСР.СБ.НЗ |