| Постоянная ссылка (СИД) |
T15256400 |
| Название |
Нанотехнологический комплекс на основе ионных и зондовых технологий |
| Автор |
Быков В. А. |
| Автор |
Быков А. В. |
| Автор |
Котов В. В. |
| Заявитель/ патентообладатель |
Нанотехнология МДТ |
| Номер патентного документа |
2528746 |
| Год |
2014 |
| Регистрационный номер заявки |
2010128741/28 |
| Дата публикации патентного документа |
20.09.2014 |
| Шифр МПК |
H01L 21/20 (2006.01), B82B 3/00 (2006.01) |
| Страна |
Российская Федерация |
| Язык текста |
русский |
| Дата подачи заявки на изобретение |
13.07.2010 |
| Обозн. материала носителя |
электронное издание online |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
16.12.2016 |
| Канал поступления |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
| Место хранения |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
| Адрес полного текста |
 |
| Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |
| Тематический раздел |
Физика |
| Издательский номер в РЖ |
17.03-18У.6 |
| Шифр ГРНТИ |
29.19.22 |
| Ключевые слова |
TNBZ; SLR; TNDCF |