| Постоянная ссылка (СИД) |
T13232814 |
| Название |
Способ контроля дефектности эпитаксиальных слоев кремния на диэлектрических подложках |
| Автор |
Алексеев А. В. |
| Автор |
Белоусов В. С. |
| Автор |
Яремчук А. Ф. |
| Автор |
Звероловлев В. М. |
| Автор |
Заикин А. В. |
| Автор |
Старков А. В. |
| Автор |
Эйдельман Б. Л. |
| Автор |
Короткевич А. В. |
| Заявитель/ патентообладатель |
ТЕЛЕКОМ-СТВ |
| Номер патентного документа |
2515415 |
| Год |
2014 |
| Регистрационный номер заявки |
2012151341/28 |
| Дата публикации патентного документа |
10.05.2014 |
| Шифр МПК |
H01L 21/66 (2006.01) |
| Страна |
Российская Федерация |
| Язык текста |
русский |
| Дата подачи заявки на изобретение |
30.11.2012 |
| Обозн. материала носителя |
электронное издание online |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
26.01.2015 |
| Канал поступления |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
| Место хранения |
Патенты из ЦСБД (ПИК) |
| Адрес полного текста |
 |
| Тематический раздел |
Автоматика и радиоэлектроника |
| Издательский номер в РЖ |
15.05-23Г.7 |
| Ключевые слова |
кремний, эпитаксиальные слои, диэлектрические подложки, дефекты, неразрушающий контроль |