| Постоянная ссылка (СИД2) |
J1327407140 |
| Название |
Алгоритмы решения обратной задачи спектроэллипсометрии |
| Автор |
Крапивин В. Ф. |
| Автор |
Потапов И. И. |
| Автор |
Солдатов В. Ю. |
| Источник |
Проблемы окружающей среды и природных ресурсов. Обзорная информация/ Всероссийский институт научной и технической информации РАН |
| Страницы/Объём |
46-55 |
| Сокращ. назв. источника |
Пробл. окруж. среды и природ. ресурсов. Обз. инф./ ВИНИТИ РАН |
| Год |
2015 |
| Номер |
4 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J13274071 |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
09.02.2015 |
| Место хранения |
ВИНИТИ. Дубль (первый) "чужого" экз. |
| Язык текста |
русский |
| Язык резюме |
английский |
| Библиография (кол-во источников) |
7 |
| Адрес полного текста в открытом доступе |
 |
| Тематический раздел |
Охрана окружающей среды |
| Тематический раздел |
Химия |
| Издательский номер в РЖ |
16.08-19Б1.8 |
| Издательский номер в РЖ |
15.11-72.429 |
| Шифр ГРНТИ |
31.15.01 |
| Шифр ГРНТИ |
87.19.81 |
| Ключевые слова |
спектроскопия, эллипсометрия, обратная задача, алгоритм; растворы, жидкие |
| Ключевые слова |
водная среда, жидкие растворы, идентификация, оптические характеристики, спектроэллипсометрия, алгоритмы; Россия |