| Постоянная ссылка (СИД2) |
J20877096232 |
| Название |
Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом |
| Автор |
Иванов Ю. Ф. |
| Автор |
Ахмадеев Ю. Х. |
| Автор |
Коваль Н. Н. |
| Автор |
Шугуров В. В. |
| Автор |
Петрикова Е. А. |
| Автор |
Крысина О. В. |
| Автор |
Прокопенко Н. А. |
| Автор |
Толкачев О. С. |
| Источник |
Известия высших учебных заведений (вузов). Физика |
| Страницы/Объём |
59-64 |
| Сокращ. назв. источника |
Изв. вузов. Физ. |
| Год |
2022 |
| Том |
65 |
| Номер |
11 |
| Адрес в Интернет |
http://elibrary.ru/item.asp?id=49813143 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J20877096 |
| Ключевые слова (авторские) |
вакуумно-дуговой плазменно-ассистированный метод%квазиэквиатомный элементный состав%микротвердость%напыление%нитридные |
| Место хранения |
Удаленный доступ. Эл. регистр. НЭБ |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
01.12.2022 |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием в среде азота. Установлено, что сформированные покрытия являются однофазными материалами, имеющими гранецентрированную кубическую кристаллическую решетку с параметром a = 0.44288 нм (покрытие состава (NbZrCuTiAl)N) и с параметром a = 0.40540 нм (покрытие состава (NbMoCrTiAl)N). Формируемые нитридные покрытия имеют нанокристаллическую многослойную структуру. Микротвердость покрытий зависит от концентрации и типа химических элементов, давления азота в газо-металлической плазме и достигает 43 ГПа для покрытия состава (NbMoCrTiAl)N и 46.5 ГПа для покрытия состава (NbZrCuTiAl)N |
| Тематический раздел |
Металлургия |
| Тематический раздел |
Физика |
| Издательский номер в РЖ |
23.02-15Е.286 |
| Шифр ГРНТИ |
81.35.33 |
| Ключевые слова |
покрытия, ионно-плазменное напыление, структура, микротвердость |