| Постоянная ссылка (СИД2) |
J2118093543 |
| Название |
Нанорельеф поверхности тонких пленок сплавов Al-Mn и Al-Ni при ионно-ассистированном осаждении на стекло |
| Автор |
Ташлыкова-Бушкевич И. И. |
| Автор |
Столяр И. А. |
| Источник |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |
| Страницы/Объём |
23-39 |
| Сокращ. назв. источника |
Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. |
| Год |
2023 |
| Номер |
3 |
| Адрес в Интернет |
http://elibrary.ru/item.asp?id=50436107 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J21180935 |
| Ключевые слова (авторские) |
ионно-ассистированное осаждение%растровая электронная микроскопия%сканирующая зондовая микроскопия%смачиваемость%сплавы Al-Mn%сплавы |
| Место хранения |
Удаленный доступ. Эл. регистр. НЭБ |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
03.04.2023 |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Исследованы закономерности формирования структуры, а также смачиваемость тонких пленок алюминия и сплавов Al-2.1 ат.% Mn и Al-1.4 ат.% Ni, осажденных на стеклянные подложки при ассистировании собственными ионами. Применение сканирующей зондовой (СЗМ) и растровой электронной микроскопии позволило охарактеризовать топографические неоднородности нано- и микрометрового размера на поверхности пленок и изучить характер их смачиваемости, измеренной методом покоящейся капли. В рамках профильного и топографического подходов для аналитического анализа СЗМ-изображений использован набор дискретных параметров шероховатости, дополненных безразмерными параметрами-комплексами (ψ и k) и параметром-функцией плотности вероятности высот выступов/впадин нанорельефа поверхности. Предложенный исследовательский гибридный параметр k характеризует форму неровностей профиля нанорельефа, нагляден и связывает амплитуду и шаг шероховатости. Показана информативность системы выбранных девяти параметров для оценки шероховатости и нерегулярности локальной структуры поверхности пленок в поперечном и продольном сечениях, позволяющей не только численно исследовать структурно-морфологические изменения при легировании алюминия, но и определить количественные соотношения, связывающие микрогеометрию поверхности пленок с условиями осаждения. Выявлено влияние исходного рельефа стекла-подложки на параметры неоднородностей поверхности пленок, которые имеют вид субмикронных конусов и локальных холмиков. Получено гауссово распределение нанорельефа пленок алюминия и его сплавов по площади поверхности, и поверхность покрытий можно рассматривать как реализацию случайного нормального процесса. Частотные распределения микрокапельной фракции по размерам носят логнормальный характер. Обнаружена корреляция параметров шероховатости пленок с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции. Установлено, что осаждение Al-содержащих пленок понижает гидрофильность поверхности системы пленка/стекло-подложка. При легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок, а также их смачиваемость снижается. Обсуждается гомогенный режим смачивания пленок водой и его зависимость от материала, морфологии и однородности химического состава поверхности |
| Тематический раздел |
Металлургия |
| Тематический раздел |
Физика |
| Издательский номер в РЖ |
23.06-15Е.283 |
| Шифр ГРНТИ |
81.35.33 |
| Ключевые слова |
тонкие пленки, алюминий, ионно-ассистированное осаждение, структура, смачиваемость, стеклянные подложки |
|