| Постоянная ссылка (СИД2) |
J2118093586 |
| Название |
Формирование нанокластеров в кристаллическом кварце, имплантированном цинком |
| Автор |
Привезенцев В. В. |
| Автор |
Фирсов А. А. |
| Автор |
Куликаускас В. С. |
| Автор |
Затекин В. В. |
| Автор |
Терещенко А. Н. |
| Источник |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |
| Страницы/Объём |
53-58 |
| Сокращ. назв. источника |
Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед. |
| Год |
2023 |
| Номер |
3 |
| Адрес в Интернет |
http://elibrary.ru/item.asp?id=50436110 |
| Постоянная ссылка (СИД) |
J21180935 |
| Ключевые слова (авторские) |
имплантация%кварц%нанокластеры%оксид |
| Место хранения |
Удаленный доступ. Эл. регистр. НЭБ |
| Дата регистрации в ВИНИТИ |
03.04.2023 |
| Язык текста |
русский |
| Аннотация |
Представлены результаты синтеза нанокластеров металлического цинка и его оксида в кристаллическом кварце, имплантированном дозой ионов 64Zn+ 5 × 1016 cм-2 с энергией 40 кэВ и отожженном в атмосфере кислорода в диапазоне температур 400-900°С. Для исследования использованы методы растровой электронной микроскопии в сочетании с энергодисперсионной спектроскопией, а также электронная оже-спектроскопия и фотолюминесценция. После имплантации на поверхности и в приповерхностном слое кварца зафиксированы отдельные нанокластеры металлического цинка размером менее 1 мкм. Установлено, что в процессе отжигов в образце реализуется переход из фазы металлического Zn в фазы его оксида ZnO и силиката Zn2SiO4. После отжига при 700°С, наиболее оптимального для получения фазы ZnO, в приповерхностном слое кварца образуются нанокластеры оксида цинка размером менее 500 нм. В спектре фотолюминесценции наблюдается пик в форме дублета на длине волны 370 нм, обусловленный экситонной люминесценцией в оксиде цинка. После отжига при 800°С происходит деградация фазы ZnO и образование фазы силиката цинка Zn2SiO4 |
| Тематический раздел |
Металлургия |
| Издательский номер в РЖ |
23.06-15И.122 |
| Шифр ГРНТИ |
53.49.05 |
| Ключевые слова |
фазовые превращения, ионная имплантация, кварц, нанокластеры, оксид цинка |